振动型惯性力传感器

摘要

本发明提供一种振动型惯性力传感器，该振动型惯性力传感器能缩短从接通电源到能检测出惯性力(角速度)为止的起动时间，而不使自动增益控制电路的动作变得不稳定。本发明所涉及的振动型惯性力传感器包括振动器(1)、振荡电路部(2)、及检测电路部(3)，振荡电路部(2)起到作为以振动器(1)为谐振元件的闭环的自激振荡电路的功能，振荡电路部(2)包括：CV转换电路(信号转换电路)(21)，该CV转换电路(21)将基于与振动器(1)的振动状态相对应的电容的监视信号转换成基于与电容的变化量相对应的电压的监视信号；以及自动增益控制电路(24)，该自动增益控制电路(24)基于经CV转换电路(信号转换电路)(21)进行转换后的监视信号，来控制增益并生成驱动信号，并将驱动信号提供给振动器(1)，CV转换电路(信号转换电路)(21)具有放大单元，该放大单元在从接通电源起的规定期间内，以规定的放大倍数对监视信号进行放大。

主权项

一种振动型惯性力传感器，其特征在于，包括：振动器，该振动器检测惯性力；振荡电路部，该振荡电路部对该振动器提供驱动信号；以及检测电路部，该检测电路部检测所述振动器的惯性力，所述振荡电路部起到作为以所述振动器为谐振元件的闭环的自激振荡电路的功能，所述振荡电路部包括：信号转换电路，该信号转换电路将基于与所述振动器的振动状态相对应的电容的监视信号转换成基于与电容的变化量相对应的电压的监视信号；以及自动增益控制电路，该自动增益控制电路基于经该信号转换电路进行转换后的监视信号，来控制增益并生成所述驱动信号，并将该驱动信号提供给所述振动器，所述信号转换电路包括放大单元，该放大单元由具有反馈电容器的运放电路构成，所述放大单元在从接通电源起经过规定期间时切换所述反馈电容器的大小，从而以在经过所述规定期间前比经过所述规定期间后要大的放大倍数对监视信号进行放大，所述放大单元基于控制所述自动增益控制电路的增益的控制信号来切换所述反馈电容器的大小，所述规定期间是从接通电源起到所述控制信号的电压电平到达规定电平范围的边界为止的期间。