一种静电驱动频率可变微机械谐振器

摘要

一种静电驱动频率可变微机械谐振器，其包括，一谐振梁，所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件，且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极；两外部构件，所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧，所述外部构件两端设有挤压部件，所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸，且所述外部构件上还设有定齿电极，且所述定齿电极与所述动齿电极相交错；同时，所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动，当所述两外部构件靠近所述谐振梁时，所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。

主权项

一种静电驱动频率可变微机械谐振器，其特征在于：其包括，一衬底，一谐振梁，所述谐振梁安装于所述衬底上，所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件，且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极；两外部构件，所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧，所述外部构件两端设有挤压部件，所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸，且所述外部构件上还设有定齿电极，且所述定齿电极与所述动齿电极相交错；同时，所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动，当所述两外部构件靠近所述谐振梁时，所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。