一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头

摘要

本实用新型提供一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头，包括基座、设置在基座上的线光源、和用于对线光源发出的光束进行导光的光纤，其特征在于：固定在所述基座上的还设有面阵CCD相机和线阵CCD相机，分别触发面阵CCD相机和线阵CCD相机动作的设有第一触发器和第二触发器，所述线光源与面阵CCD相机之间形成第一光路，所述线光源与线阵CCD相机之间形成第二光路，所述面阵CCD相机、线阵CCD相机和线光源三者之间实时共焦。本实用新型通过优化设计结构，在一台扫描探头上组合安装面阵CCD相机和线阵CCD相机，两相机共用一个线光源，能够同时兼顾大尺度缺陷的扫描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的检测要求，以此来提升用户产线的产品检测效率和良率，降低检测设备采购的成本。

主权项

一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头，包括基座、设置在基座上的线光源、和用于对线光源发出的光束进行导光的光纤，其特征在于：固定在所述基座上的还设有面阵CCD相机和线阵CCD相机，分别触发面阵CCD相机和线阵CCD相机动作的设有第一触发器和第二触发器，所述线光源与面阵CCD相机之间形成第一光路，所述线光源与线阵CCD相机之间形成第二光路，所述面阵CCD相机、线阵CCD相机和线光源三者之间实时共焦。