发明名称 セラミックス材料及びその製造方法
摘要
申请公布号 JP5874144(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20120081257 申请日期 2012.03.30
申请人 日本タングステン株式会社 发明人 堤 幸太;松尾 稜;永野 光芳
分类号 C04B35/50;H01L21/3065 主分类号 C04B35/50
代理机构 代理人
主权项
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