用于光信号的相位敏感检测的光电池器件

摘要

实施方式涉及用于光信号的相位敏感检测的光电池器件。在一个实施方式中，基于沟槽的光电池，尤其是与传统方法相比，非常快地捕获光生电荷载流子，因为光电池的沟槽在衬底体区内深处创建了避免载流子的耗时扩散的耗尽区。

主权项

一种光电池，包括：衬底；至少两个垂直沟槽，形成于所述衬底中且彼此横向隔开使得当所述光电池在耗尽模式下操作时空间电荷区在所述衬底中横向延伸，并且所述至少两个垂直沟槽中的第一沟槽被布置在所述空间电荷区中，而所述至少两个垂直沟槽中的第二沟槽被布置在所述衬底的中性区中；以及形成于所述衬底中的第三沟槽和第四沟槽。