基板液体处理装置和基板液体处理方法

摘要

提供能够良好地对基板进行液体处理的基板液体处理装置和基板液体处理方法。在本发明中，基板液体处理装置(1)具有：液体处理部(3)，其利用处理液对基板(2)进行处理；处理液供给部(4)，其供给上述处理液；以及稀释液供给部(5)，其供给用于稀释上述处理液的稀释液，该基板液体处理装置(1)检测上述处理液的浓度和大气压，控制从上述稀释液供给部(5)供给的上述稀释液的量，使得检测出的上述处理液的浓度成为预先设定的浓度(设定浓度)，并且根据检测出的大气压来校正上述设定浓度。

主权项

一种基板液体处理装置，其特征在于，具有：液体处理部，其利用处理液对基板进行处理；处理液供给部，其供给上述处理液；稀释液供给部，其供给用于稀释上述处理液的稀释液；控制部，其控制上述稀释液供给部；浓度检测部，其检测上述处理液的浓度；以及大气压检测部，其检测大气压，其中，上述控制部获取来自上述浓度检测部和上述大气压检测部的信号，控制从上述稀释液供给部供给的上述稀释液的量，使得获取到的上述处理液的浓度成为预先设定的浓度即设定浓度，并且根据获取到的大气压来校正上述设定浓度。