| 发明名称 | 一种基于MEMS工艺的电磁力喷头 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，包括导电线圈、软磁性材料、硅材料、控制芯片、导电流体、电极对；所述导电线圈置于软磁性材料的内部，所述硅材料包覆软磁性材料，所述导电线圈的正负极分别与电极对的正负极连接，所述控制芯片置于硅材料顶部，所述导电流体从贯穿控制芯片、硅材料、软磁性材料的喷孔底部流出，所述电极对贯穿软磁性材料、硅材料与顶部的控制芯片连接，实现对导电流体的微流动控制。基于MEMS工艺制造的微型电磁力喷头，通电后，串联的导电线圈产生磁场，电极对产生电场，电磁场形成的电磁力驱动喷头内的导电流体竖直向下流动，具有结构简单、精度高、频率高、噪音低、热量小、可靠性高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN105366625A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201510682051.1 | 申请日期 | 2015.10.21 |
| 申请人 | 上海大学 | 发明人 | 张金松;许阁;周志鹏;刘超;伊春明;王志亮 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人 | 陆聪明 |
| 主权项 | 一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，包括导电线圈（1）、软磁性材料（2）、硅材料（3）、控制芯片（4）、导电流体（5）、电极对（6）；所述导电线圈（1）置于软磁性材料（2）的内部，所述硅材料（3）包覆软磁性材料（2），所述导电线圈（1）的正负极分别与电极对（6）的正负极连接，所述控制芯片（4）置于硅材料（3）顶部，所述导电流体（5）从贯穿控制芯片（4）、硅材料（3）、软磁性材料（2）的喷孔底部流出，所述电极对（6）贯穿软磁性材料（2）、硅材料（3）与顶部的控制芯片（4）连接，实现对导电流体（5）的微流动控制。 | ||
| 地址 | 200444 上海市宝山区上大路99号 | ||