发明名称 |
封装方法 |
摘要 |
一种封装方法,包括:提供载板,所述载板包括若干芯片区以及位于相邻芯片区之间的切割区,所述载板包括第一表面;在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽;提供芯片,所述芯片包括相对的功能面和非功能面;将所述芯片的功能面与载板芯片区的第一表面固定;在所述载板第一表面和芯片表面形成塑封层;去除所述载板,所述塑封层的表面暴露出芯片的功能面;在所述塑封层表面和芯片的功能面形成再布线结构;对所述塑封层和再布线结构进行切割,使若干芯片相互分立,形成独立的封装结构。提高封装产品的良率和可靠性。 |
申请公布号 |
CN105374731A |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201510747383.3 |
申请日期 |
2015.11.05 |
申请人 |
南通富士通微电子股份有限公司 |
发明人 |
石磊 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
徐文欣;吴敏 |
主权项 |
一种封装方法,其特征在于,包括:提供载板,所述载板包括若干芯片区以及位于相邻芯片区之间的切割区,所述载板包括第一表面;在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽;提供芯片,所述芯片包括相对的功能面和非功能面;将所述芯片的功能面与载板芯片区的第一表面固定;在所述载板第一表面和芯片表面形成塑封层;去除所述载板,所述塑封层的表面暴露出芯片的功能面;在所述塑封层表面和芯片的功能面形成再布线结构;对所述塑封层和再布线结构进行切割,使若干芯片相互分立,形成独立的封装结构。 |
地址 |
226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 |