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一种激光诱导液滴靶放电产生等离子体的装置，其特征在于，包括储锡池(1)、旋转圆盘(2)、温度控制器(4)、阻拦屏(5)、旋转圆面屏(7)、第一电极(9)、第二电极(10)、绝缘圆杆(11)、放电电容(12)、电机(13)、激光器(15)和聚焦透镜(16)；所述储锡池(1)内盛有锡液(3)，并通过温度控制器(4)控制锡液处于液态；所述旋转圆盘(2)安装在储锡池(1)水平方向的一端，部分浸入锡液(3)中；旋转圆盘(2)的旋转方向在储锡池(1)液面之下指向阻拦屏(5)方向；旋转圆盘(2)圆轴中心通过绝缘圆杆(11)和电机(13)的转轴固定连接；所述阻拦屏(5)安装在储锡池(1)水平方向的另一端，其表面设有第一圆孔(6)，阻拦屏(5)作用是使锡滴重新流回锡池中，只有在其中一条切线方向的锡液滴能通过第一圆孔(6)；旋转圆面屏(7)安装在储锡池(1)外侧，其与旋转圆盘(2)同圆心，其表面设有第二圆孔(8)；所述旋转圆面屏(7)在电机(13)的带动下，与旋转圆盘等角速度同步旋转，使得第一圆孔(6)逸出的锡滴周期性地通过第二圆孔(8)逸出，形成锡液滴流；所述第一电极(9)和第二电极(10)为斗笠形，两个电极的斗笠形的电极顶端朝外，以旋转圆盘(2)镜像对称固定，紧贴固定在旋转圆面屏(7)外侧；第一电极(9)和第二电极(10)的顶端内侧与分别绝缘圆杆(11)的两端固定连接；第二电极(10)顶端外侧与电机(13)的转轴固定连接；第一电极(9)和第二电极(10)边缘之间有一个间隙，构成放电区；所述放电电容(12)的两极分别与第一电极(9)和第二电极(10)相连，为电极提供放电电压；工作时，所述激光器(15)产生的激光束通过聚焦透镜(16)，聚集于电极放电区中，用于轰击旋转圆面屏(7)飞逸出的锡液滴。 |
