发明名称 束縛されたプラズマビームを生成させるための方法及びビーム発生器
摘要 The invention relates to a method and a device for creating a plasma beam in a streaming working gas by means of arc discharge between two electrodes arranged spaced apart from one another in the stream of the working gas, wherein a voltage pulse, having a pulse frequency and an ignition voltage, is created for the arc discharge allowing the arc to extinguish between two successive voltage impulses.
申请公布号 JP5871789(B2) 申请公布日期 2016.03.01
申请号 JP20120502577 申请日期 2010.03.24
申请人 マシイネンフアブリーク・ラインハウゼン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 发明人 ビスゲス・ミヒャエル;ハルトマン・ウーヴェ;シュナイデライト・ホルガー
分类号 C23C14/32;H05H1/24;H05H1/48 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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