发明名称 |
束縛されたプラズマビームを生成させるための方法及びビーム発生器 |
摘要 |
The invention relates to a method and a device for creating a plasma beam in a streaming working gas by means of arc discharge between two electrodes arranged spaced apart from one another in the stream of the working gas, wherein a voltage pulse, having a pulse frequency and an ignition voltage, is created for the arc discharge allowing the arc to extinguish between two successive voltage impulses. |
申请公布号 |
JP5871789(B2) |
申请公布日期 |
2016.03.01 |
申请号 |
JP20120502577 |
申请日期 |
2010.03.24 |
申请人 |
マシイネンフアブリーク・ラインハウゼン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング |
发明人 |
ビスゲス・ミヒャエル;ハルトマン・ウーヴェ;シュナイデライト・ホルガー |
分类号 |
C23C14/32;H05H1/24;H05H1/48 |
主分类号 |
C23C14/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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