PLASMA PROCESS AND REACTOR FOR TREATING METALLIC PIECES

摘要

본 발명의 플라즈마 반응기(10)는 금속편(1)에 대한 지지체(30) 및 애노드-캐소드 시스템(40)이 구비된 반응 챔버(23)를 한정하며, 가열 수단(70)이 상기 플라즈마 반응기(10) 외부에 장착된다. 세정 조작을 위한 플라즈마 공정은 지지체(30)를 접지된 애노드에, 그리고 캐소드를 전원(50)의 음 전위에 접속시키는 단계; 이온화 가능한 가스 충전물을 반응 챔버(23)에 공급하고 조각 오염물의 기화 온도에서 반응 챔버를 가열하는 단계; 캐소드에 전기 방전을 적용하는 단계; 및 가스 충전물 및 오염물의 배기를 제공하는 단계를 포함한다. 후속 열 처리는 애노드-캐소드 시스템(40)의 에너지화 극성을 반전시키는 단계; 새로운 가스 충전물을 반응 챔버(23)에 공급하고 이를 가열된 채로 유지하는 단계; 캐소드에 전기 방전을 적용하는 단계; 및 반응 챔버(23)로부터의 가스 충전물을 배기시키는 단계를 포함한다.