| 摘要 |
기판 위에 형성된 저항 변화형 랜덤 액세스 메모리(RRAM) 셀을 포함한 집적 회로 디바이스를 제공한다. RRAM 셀은 상부 표면을 가진 상부 전극을 포함한다. 차단 층은 상기 상부 표면의 일부를 덮는다. 비아는 유전체 매트릭스 내에서 상기 상부 전극 위로 연장된다. 상부 전극의 상부 표면은 상기 차단 층과 인터페이스하는 영역 및 상기 비아와 인터페이스하는 영역을 포함한다. 상기 비아와 인터페이스하는 상부 표면의 영역은 상기 차단 층과 인터페이스하는 상부 표면의 영역을 둘러싼다. 차단 층은 위에 있는 비아와 상부 전극 간의 접촉을 방해하지 않게 하는 방식으로 구성되면서 RRAM 셀을 에칭 손상으로부터 보호하도록 공정 중에 기능한다. |
