发明名称 MULTI-BLOCK SPUTTERING TARGET WITH INTERFACE PORTIONS AND ASSOCIATED METHODS AND ARTICLES
摘要 각각 제 1 금속(예를 들면, 약 30% 중량 이상의 양의 몰리브덴과 같은 내화 금속)을 포함하는 합금 및 적어도 하나의 부가적인 합금 성분을 포함하는, 적어도 두 개의 압밀된 블록; 및 적어도 두 개의 압밀된 블록 사이의 조인트;를 포함하되, 조인트는 첨가된 루스 파우더의 확산 접착으로부터 유래하는 어떠한 미세구조 없이 제조되는 스퍼터링 타겟을 개시한다. 타겟을 제조하기 위한 공정은 가압 단계 이전에, 압밀된 분말 금속 블록들 사이에 적어도 하나의 연속적인 고체 인터페이스 부를 삽입한 압밀된 프리폼 블록들을 열간 등방압 가압하는 단계(예를 들면, 약 1080℃ 이하의 온도)를 포함한다. 적어도 하나의 연속적인 고체 인터페이스 부는 블록의 표면 상에 저온 분사 증착된 분말들의 덩어리일 수 있는, 저온 분사 바디, 소결된 프리폼, 성형된 분말체(예를 들면, 타일), 또는 그것들의 어떠한 조합을 포함한다.
申请公布号 KR20160022391(A) 申请公布日期 2016.02.29
申请号 KR20167003398 申请日期 2013.03.12
申请人 H.C. STARCK. INC. 发明人 ROZAK GARY ALAN;GAYDOS MARK E.;MICHALUK CHRISTOPHER
分类号 C23C14/34;B22F3/15;B22F7/06;C22C1/04;C23C24/04 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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