Restoring Low Dielectric Constant Film Properties

摘要

본 발명은 저유전상수 필름의 유전상수를 회복시키는 방법에 관한 것이다. 다수의 기공을 지니는 다공성 유전층이 기판상에 형성된다. 다수의 기공은 이어서 첨가제로 충전되어 플러깅된 다공성 유전층을 제공한다. 최종적으로 첨가제가 다수의 기공으로부터 제거된다.