| 摘要 |
본 발명은 증착두께 측정장치에 관한 것이다. 본 발명은 증발원에서 증발되는 증발입자가 기판에 증착될 때, 증착층의 두께를 측정하는 증착두께 측정장치에 있어서, 상기 증발입자의 증착에 따른 진동수의 변화에 따라 증착두께를 측정하는 센서; 상기 증발원의 상부에 착탈되는 증발원 캡; 및 상기 센서 측에 설치되어 상기 증발원 캡을 향하여 레이저를 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 상기 레이저는 상기 센서와 증발원 캡의 중심이 일직선 상에 정렬되도록 조사될 수 있다. |
