| 摘要 |
본 발명은 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터의 전력선전열선 조립부 구조에 관한 것으로, 히터의 전력선과 전열선 연결부를, 전력선의 선단 피복을 제거하고 노출시킨 도체와 전열선의 선단 피복을 제거하고 노출시킨 도체를 연결한 전기적 접합부와, 상기 전기적 접합부, 상기 전력선의 노출된 도체, 상기 전력선의 노출된 도체에 인접한 전력선 피복, 상기 전열선의 노출된 도체 및 상기 전열선의 노출된 도체에 인접한 전열선 피복을 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브를 이들 외부에 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층과, 상기 제1보호층 중 상기 전력선 피복에 형성된 제1보호층의 외부에 삽입한 스테인레스관과, 상기 스테인레스관 및 상기 스테인레스관 밖에 노출된 상기 제1보호층의 외부에 제2불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층을 포함하여 구성한 데 특징이 있다. |
