| 摘要 |
본 발명은 스핀 코팅법의 실시 조건을 변경함으로써, 막 두께가 크게 다른 수지막을 형성하는 것이 가능한 네가티브형 감방사선성 수지 조성물을 제공하는 것을 과제로 한다. (A) 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 수지, (B) 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 라디칼 중합성 화합물, (C) 감방사선성 라디칼 중합 개시제, 및 (D) 20 ℃, 1기압에서의 포화 증기압이 3.0 mmHg 이하인 에틸렌글리콜계 유기 용매를 포함하는 유기 용매류를 함유하는 것을 특징으로 하는 네가티브형 감방사선성 수지 조성물이 개시된다. |
