发明名称 |
DICING BLADE |
摘要 |
취성재료로 구성되는 워크에 대하여도 크랙이나 깨어짐을 발생시킬 일 없이 연성 모드에서 안정되고 정밀도 좋게 절단 가공을 할 수 있는 다이싱 블레이드를 제공한다. 워크를 절단 가공하는 다이싱 블레이그(26)이며, 상기 다이싱 블레이드(26)는 다이아몬드 지립(82; 砥粒)을 소결해서 형성된 다이아몬드 소결체(80)에 의해 원반상(半圓狀)으로 일체적으로 구성되고, 상기 다이아몬드 소결체(80)는 상기 다이아몬드 지립(82; 砥粒)의 함유량이 80vol% 이상이다. 상기 다이싱 블레이드(26)의 외주부에는 상기 다이아몬드 소결체(80)의 표면에 형성된 오목부가 주방향(周方向)에 따라 연속해서 설치되어 있는 것이 바람직하다. |
申请公布号 |
KR20160021903(A) |
申请公布日期 |
2016.02.26 |
申请号 |
KR20167003237 |
申请日期 |
2013.04.24 |
申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.;WATANABE JUNJI;SHIN-NIHON TECH INC. |
发明人 |
WATANABE JUNJI;FUJITA TAKASHI;IZUMI YASUO |
分类号 |
H01L21/78;B24B19/02;B24B19/22;B24B27/00;B24B27/06;B24D5/12;B28D1/12;B28D5/02;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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