发明名称 DICING BLADE
摘要 취성재료로 구성되는 워크에 대하여도 크랙이나 깨어짐을 발생시킬 일 없이 연성 모드에서 안정되고 정밀도 좋게 절단 가공을 할 수 있는 다이싱 블레이드를 제공한다. 워크를 절단 가공하는 다이싱 블레이그(26)이며, 상기 다이싱 블레이드(26)는 다이아몬드 지립(82; 砥粒)을 소결해서 형성된 다이아몬드 소결체(80)에 의해 원반상(半圓狀)으로 일체적으로 구성되고, 상기 다이아몬드 소결체(80)는 상기 다이아몬드 지립(82; 砥粒)의 함유량이 80vol% 이상이다. 상기 다이싱 블레이드(26)의 외주부에는 상기 다이아몬드 소결체(80)의 표면에 형성된 오목부가 주방향(周方向)에 따라 연속해서 설치되어 있는 것이 바람직하다.
申请公布号 KR20160021903(A) 申请公布日期 2016.02.26
申请号 KR20167003237 申请日期 2013.04.24
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD.;WATANABE JUNJI;SHIN-NIHON TECH INC. 发明人 WATANABE JUNJI;FUJITA TAKASHI;IZUMI YASUO
分类号 H01L21/78;B24B19/02;B24B19/22;B24B27/00;B24B27/06;B24D5/12;B28D1/12;B28D5/02;H01L21/304 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址