发明名称 Board for probe card manufacturing method of the same and probe card
摘要 본 발명의 일 실시형태는 제1 세라믹 적층체 및 상기 제1 세라믹 적층체의 일면에 배치되고 전자부품을 수용하기 위한 캐비티가 형성된 제2 세라믹 적층체를 포함하는 세라믹 기판; 상기 제1 세라믹 적층체 및 상기 제2 세라믹 적층체에 인쇄된 도전성 패턴; 상기 도전성 패턴을 전기적으로 연결하는 도전성 비아; 및 상기 캐비티에 배치되는 커패시터;를 포함하며, 상기 캐비티는 상기 커패시터의 두께보다 더 큰 깊이를 갖도록 형성하여 상기 커패시터 수용 후 하부에 일정 공간이 확보되는 커패시터 내장형 프로브 카드용 기판을 제공할 수 있다.
申请公布号 KR101598271(B1) 申请公布日期 2016.02.26
申请号 KR20140027688 申请日期 2014.03.10
申请人 삼성전기주식회사 发明人 조범준;최중구;나지성;박윤휘;오광재;추호성;신지환
分类号 G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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