| 摘要 |
본 발명은, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는, 동일 면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 양면 접착 시트는, 인접하는 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체에 관한 것이다. |
