发明名称 |
PROCESS FOR FORMING AN ELECTROACTIVE LAYER |
摘要 |
실질적으로 평탄한 프로파일을 갖는 전기활성 재료의 층을 형성하기 위한 방법이 제공된다. 본 방법은 적어도 하나의 활성 영역을 갖는 공작물을 제공하는 단계; 활성 영역 내에서 공작물 상으로 전기활성 재료를 포함하는 액체 조성물을 침착시켜서, 습윤 층을 형성하는 단계; 1 내지 100분의 제1 기간 동안, -25 내지 80℃의 범위 내의 제어된 온도에서 그리고 1.3 × 10내지 133.3 ㎪(10내지 1,000 Torr)의 범위 내의 진공 하에서 공작물 상의 습윤 층을 처리하여, 부분 건조 층을 형성하는 단계; 및 부분 건조 층을 1 내지 50분의 제2 기간 동안 100℃ 초과의 온도로 가열하여, 건조 층을 형성하는 단계를 포함한다. |
申请公布号 |
KR20160021897(A) |
申请公布日期 |
2016.02.26 |
申请号 |
KR20167003152 |
申请日期 |
2009.05.15 |
申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
CHESTERFIELD REID JOHN;TRUONG NUGENT;MERLO JEFFREY A.;FENNIMORE ADAM;ZIEBARTH JONATHAN M. |
分类号 |
H01L51/56;H01L31/18;H01L51/00;H01L51/50;H01L51/52 |
主分类号 |
H01L51/56 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|