发明名称 PROCESS FOR FORMING AN ELECTROACTIVE LAYER
摘要 실질적으로 평탄한 프로파일을 갖는 전기활성 재료의 층을 형성하기 위한 방법이 제공된다. 본 방법은 적어도 하나의 활성 영역을 갖는 공작물을 제공하는 단계; 활성 영역 내에서 공작물 상으로 전기활성 재료를 포함하는 액체 조성물을 침착시켜서, 습윤 층을 형성하는 단계; 1 내지 100분의 제1 기간 동안, -25 내지 80℃의 범위 내의 제어된 온도에서 그리고 1.3 × 10내지 133.3 ㎪(10내지 1,000 Torr)의 범위 내의 진공 하에서 공작물 상의 습윤 층을 처리하여, 부분 건조 층을 형성하는 단계; 및 부분 건조 층을 1 내지 50분의 제2 기간 동안 100℃ 초과의 온도로 가열하여, 건조 층을 형성하는 단계를 포함한다.
申请公布号 KR20160021897(A) 申请公布日期 2016.02.26
申请号 KR20167003152 申请日期 2009.05.15
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 CHESTERFIELD REID JOHN;TRUONG NUGENT;MERLO JEFFREY A.;FENNIMORE ADAM;ZIEBARTH JONATHAN M.
分类号 H01L51/56;H01L31/18;H01L51/00;H01L51/50;H01L51/52 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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