摘要 |
Eine Absolut-Positionsgeberskala umfasst erste und zweite Schichten in einer Stapelkonfiguration. Ein Lesekopf bewegt sich mit Bezug auf räumliche Modulationsmuster von ersten (oberen) und zweiten (unteren) Signalschichten entlang einer Messachse, und ein Messabschnitt erzeugt ein oder mehrere Skalenmessfelder, um die Signalschichten zu messen. Ein Skalenmessfeld höherer Frequenz kann eine erste begrenzte Messtiefe bereitstellen, um eine Position mit Bezug auf das obere Signalschichtmuster zu messen, und ein Feld niedrigerer Frequenz kann eine zweite tiefere Messtiefe bereitstellen, um eine Position mit Bezug auf das niedrigere Signalschichtmuster zu messen. Bei einigen Ausführungsformen kann eine Isolierschicht zwischen den ersten und zweiten Schichten ein räumliches Modulationsmuster umfassen, welches das erste Schichtmuster ergänzt, um seine Signaleffekte aufzuheben, wenn eine Position mit Bezug auf das zweite Schichtmuster unter Verwendung der zweiten Messtiefe gemessen wird. |