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Vakuumpumpen-Dämpfer zur vakuumdichten Verbindung einer Vakuumpumpe (10) mit einem Rezipienten (12), mit einem ersten und einem zweiten Flansch (20, 22), wobei der erste Flansch (20) mit der Vakuumpumpe (10) und der zweite Flansch (22) mit dem Rezipienten (12) verbunden oder verbindbar ist, zumindest einem Entkopplungsorgan (26), das unmittelbar zwischen einander zugewandten Flanschseiten (24, 24') des ersten und des zweiten Flansches (20, 22) angeordnet ist, und zumindest einem Befestigungselement (28), insbesondere einer Schraube, mit dem der erste und der zweite Flansch (20, 22) miteinander verbunden oder verbindbar sind, wobei das Befestigungselement (28) und die Flansche (20, 22) dazu ausgebildet sind, in einem nicht evakuierten Montagezustand das Entkopplungsorgan (26) derart vakuumdicht vorzuspannen, dass in einem evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche (20, 22) mechanisch und/oder elektrisch voneinander entkoppelt sind, und wobei im evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche (20, 22) im Bereich des Befestigungselementes (28) mittelbar über das Befestigungselement (28) und zumindest ein zwischen dem Befestigungselement (28) und einem der Flansche (20, 22) angeordneten Entkopplungselement (34) miteinander in Kontakt stehen. |
