发明名称 トランジスタ構造およびその製造方法
摘要 深い凹状のP+接合を有するトランジスタデバイスが開示されている。トランジスタデバイスは、トランジスタデバイスの上面上にゲートおよびソースを備え、少なくとも1つのドープウェル領域を含んでおり、少なくとも1つのドープウェル領域は、トランジスタデバイス内のソース領域の導電型とは異なる第1導電型を有し、少なくとも1つのドープウェル領域は、トランジスタデバイスの上面から所定の深さだけ凹んでいる。深い凹状のP+接合は、ソースコンタクト領域内の深い凹状のP+埋め込み接合であってもよい。深い凹状のP+接合は、トランジスタデバイスにおける終端構造より深くてもよい。トランジスタデバイスは、炭化ケイ素(SiC)MOSFETデバイスであってもよい。
申请公布号 JP2016506080(A) 申请公布日期 2016.02.25
申请号 JP20150550411 申请日期 2013.12.04
申请人 クリー インコーポレイテッドCREE INC. 发明人 チャン チンチュン;ハル ブレット
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/739;H01L29/744 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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