Schutzringstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben

摘要

Eine Schaltungseinrichtung umfasst eine Kernschaltung. Die Schaltungseinrichtung umfasst ferner einen ersten Satz von Schutzringen, der einen ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der erste Satz von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung herum liegt, wobei der erste Satz von Schutzringen einen ersten Schutzring und einen zweiten Schutzring umfasst. Eine Schaltungseinrichtung umfasst ferner einen zweiten Satz von Schutzringen, der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen herum liegt und der zweite Satz von Schutzringen einen dritten Schutzring und einen vierten Schutzring umfasst.