发明名称 |
パルスレーザー堆積によって成長させたナノメートルサイズ構造体 |
摘要 |
ナノメートルサイズ材料は、標的をレーザー光源にさらして、該標的から材料を取り出し、かつ取り出された材料を真空チャンバー内で基板の表面上に堆積させて薄膜を成長させることによって製造することができる。【選択図】なし |
申请公布号 |
JP2016505476(A) |
申请公布日期 |
2016.02.25 |
申请号 |
JP20150538587 |
申请日期 |
2013.10.29 |
申请人 |
キング アブドラ ユニバーシティ オブ サイエンス アンド テクノロジー |
发明人 |
バスマ エル ゼイン;イイングバング ヤオ;エルハドジ ドグヘチェ;サミル ボウルフラド;グハスサン ジャブボウル |
分类号 |
C30B29/60;B82Y30/00;B82Y40/00;C01G9/02;C23C14/08;C23C14/28;C30B29/16;C30B29/62;H01L21/363 |
主分类号 |
C30B29/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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