プラテンの平行度を制御した両面研磨機

摘要

ウエハの表面を研磨するためのプラテンは、研磨プレート、研磨プレート、およびブラダーを含む。反応プレートは、上面および底面を有し、縦方向の軸を規定する。研磨プレートは、反応プレートと同軸に配置される。研磨プレートは、第２の上面および第２の底面を有する。第２の上面は反応プレートの底面に隣り合う。ブラダーは、反応プレートの上面および底面のいずれかの、半径方向に外方部分に沿って同軸に配置される。ブラダーは研磨プレートに接続され、反応プレートの底面に対して研磨プレートを変形させるために拡張する。