Lithographie-Blendenlinse, Beleuchtungsvorrichtung, Lithographiesystem und Verfahren

摘要

Linse für eine Beleuchtungsvorrichtung (122) eines Lithographiesystems (120) mit: einem transparenten Material (102), einem auf dem transparenten Material angeordneten opaken Material (104), einem auf dem transparenten Material (102) oder auf dem opaken Material (104) angeordneten elektrooptischen Material (108), und mindestens einer in dem opaken Material (104) ausgebildeten Blendenstruktur (106).