プラズマ発生装置を作動させる方法及び制御装置

摘要

本発明は、プラズマ発生装置を作動させる方法及び制御装置に関するものである。本発明は、プラズマを点火するためにアノードとカソードとの間に点火電圧を印加する方法及び制御装置に基づくものである。本発明によれば、プラズマ発生装置の緩やかな動作を可能にするために、点火プロセス中に、プラズマが点火されているかどうかが連続的に検査される。さらに、点火電圧ＵＺが、初期点火電圧ＵＺＡから増大されていき、ｔＺの時点でプラズマの点火を確認した後に、アノードとカソードとの間の電圧が維持電圧ＵＡまで低減される。