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Ein kapazitiver Sensor für eine physikalische Größe umfasst ein erstes Substrat (14, 15), eine bewegliche Elektrode (24), eine feste Elektrode (31, 41), ein zweites Substrat (11, 201), eine Signalanlegeeinheit (120, 130), eine C-V-Wandlungsschaltung (110) und eine Hilfselektrode (71, 72). Die Hilfselektrode reicht von einem Abschnitt des zweiten Substrats, der der beweglichen Elektrode gegenüberliegt, bis zu einem Abschnitt des zweiten Substrats, der einem verschiebbaren Bereich der beweglichen Elektrode gegenüberliegt. Die Signalanlegeeinheit legt zur Zeit der Selbstdiagnose ein vorab festgelegtes Potenzial an die Hilfselektrode an, um dadurch eine Dichte von elektrischen Kraftlinien zu erhöhen, die zwischen der in einer Richtung der Verschiebung der beweglichen Elektrode angeordneten festen Elektrode und der beweglichen Elektrode erzeugt werden. |
