| 摘要 |
Winkelgeschwindigkeitssensor mit: einem Halbleitersubstrat (2); einem Isolationsfilm (3), der auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats (2) ausgebildet ist; einer ersten Elektrode (4), die auf dem Isolationsfilm (3) ausgebildet ist; einem piezoelektrischen Film (5), der auf der ersten Elektrode (4) angeordnet ist und diese bedeckt; einer Mehrzahl an Ansteuerelektroden (7–10), die auf dem piezoelektrischen Film (5) ausgebildet und dazu angeordnet sind, in einer Richtung senkrecht zu der Oberfläche des piezoelektrischen Films (5) zu schwingen und in dem piezoelektrischen Film (5) eine Stehwelle (λ1) zu erregen, wenn eine Ansteuerspannung angelegt ist; einer Mehrzahl an Reflektoren (11, 12), die auf dem piezoelektrischen Film (5) an jeweils Enden der Ansteuerelektroden (7–10) ausgebildet und dazu angeordnet sind, die elastische akustische Welle wiederholt zu reflektieren und dadurch die Stehwelle (λ1) zwischen den Reflektoren (11, 12) zu erzeugen; einer Mehrzahl an Störmassen (6), die der ersten Elektrode (4) gegenüberliegend auf dem piezoelektrischen Film (5) ausgebildet und dazu angeordnet sind, in einer Richtung senkrecht zu dem piezoelektrischen Film (5) zu schwingen und eine elastische akustische Welle (λ2) zu erzeugen, wenn eine Corioliskraft auf sie wirkt; einer Mehrzahl an Erfassungseinrichtungen (13–16), die auf dem piezoelektrischen Film (5) ausgebildet und dazu angeordnet sind, die elastische akustische Welle zu erfassen, die durch die Corioliskraft erzeugt wird, wenn an die Störmassen (6) eine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist, und einer zweiten Elektrode (30), die auf dem piezoelektrischen Film (5) so angeordnet ist, dass sie einen Bereich (60) bedeckt, in dem die Störmassen (6) auf der zweiten Elektrode (30) ausgebildet sind. |
