| 摘要 |
본 발명은 태양전지, 태양전지의 제조방법 및 태양전지의 열확산용 열처리 장치 에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 태양전지의 제조방법는 태양전지의 열확산용 열처리 장치를 이용하여 기판에 증착된 도핑소스층을 차등적으로 가열하여 선택적 에미터 구조를 한번에 형성하는 단계를 포함하고, 본 발명의 실시예에 따른 태양전지는 제1에미터부와 제2에미터부의 표면의 불순물 농도가 동일하며, 본 발명의 실시예에 따른 태양전지의 열확산용 열처리 장치는 제2패턴 가열부가 제1패턴 가열부보다 더 돌출된 구조를 가진다. |
