| 发明名称 | 一种提高靶室晶片传输效率的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种提高靶室晶片传输效率的方法，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。本发明可以使靶室内同时传送3片，最大化的提高机械手的利用率，缩短空闲时间，提高传输效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102867768B | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201110186452.X | 申请日期 | 2011.07.05 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 杨亚兵;伍三忠;谢均宇 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强 |
| 主权项 | 一种提高靶室晶片传输效率的方法，包括：主机械手（1），副机械手（2），定向台（3）和靶台（4）四大功能模块，主机械手（1）下又有送回到片库（5）、送到定向台（6）、从片库取片（7）、从靶台取片（8）、状态出错（17）和任务结束（19）几个子模块，副机械手（2）下又有送片到靶台（9）和定向台取片（10）2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片（11）、等待主机械手送片（12）和定向（13）3个子模块，靶台下又有注入（14）、等待副机械手送片（15）和等待主机械手取片（16）3个子模块，而每个大模块中都有运动出错（18）这个模块；其特征在于：其中所述主机械手（1）、副机械手（2）、定向台（3）和靶台（4）之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗；主机械手（1）和副机械手（2）分工协作，使靶室最大达到3片，充分利用靶室的空间，设置了取送片等待位置，提高机械手的利用率，提高了传输效率。 | ||
| 地址 | 101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街六号 | ||