真空热处理装置

摘要

本发明的真空热处理装置(100、200)，具备：诱导板(160)，当绝热容器(120)的至少2个开口(126)处于开放的状态时，使由冷却装置(150)送出的冷却介质穿过绝热容器(120)的2个开口(126)之中的一个开口(126)而诱导到绝热容器(120)内；以及移动机构(170)，使诱导板(160)移动，以在绝热容器(120)的2个开口(126)处于开放的状态时，使诱导板(160)的至少一部分插入盖部(130)的移动空间(134)，并且，在用于封闭绝热容器(120)的2个开口(126)的盖部(130)移动之前，使诱导板(160)从盖部(130)的移动空间(134)退避。

主权项

一种真空热处理装置，具备：真空炉，能够减压至真空状态；绝热容器，设于所述真空炉内，收纳被处理物，并且具有至少2个开口；加热部，设于所述绝热容器内，加热所述被处理物；盖部，在所述加热部加热所述被处理物的期间，至少使所述绝热容器的2个开口成为封闭的状态；冷却装置，将冷却介质冷却并送出，并将送出的所述冷却介质回收；诱导板，当所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使由所述冷却装置送出的冷却介质穿过所述绝热容器的2个开口之中的一个开口而诱导到所述绝热容器内；以及移动机构，使所述诱导板移动，以在所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使所述诱导板的至少一部分插入所述盖部的移动空间，并且，在用于封闭所述绝热容器的2个开口的所述盖部移动之前，使所述诱导板从所述盖部的移动空间退避。