等离子体损伤测试结构及其制作方法

摘要

本申请公开了一种等离子体损伤测试结构，该等离子体损伤测试结构包括：晶体管，设置于衬底中；互连层，包括第一顶层金属层和第一底层金属层，第一底层金属层与晶体管中的栅极之间形成电连接；测试互连层，包括第二顶层金属层和第二底层金属层，测试互连层设置于衬底上；焊盘结构，包括具有通孔的介质层和设置于通孔中的金属焊盘，焊盘结构设置于第二顶层金属层上，该等离子体损伤测试结构还包括：金属连接层，金属连接层的第一端设置于第一顶层金属层的表面上，金属连接层与测试互连层之间形成电连接。制作该等离子体损伤测试结构的过程中产生的等离子损伤得以减少，从而减少了该等离子体损伤测试结构中的等离子损伤。

主权项

一种等离子体损伤测试结构，包括：晶体管，设置于衬底中；互连层，包括第一顶层金属层和第一底层金属层，所述第一底层金属层与所述晶体管中的栅极之间形成电连接；测试互连层，包括第二顶层金属层和第二底层金属层，所述测试互连层设置于所述衬底上；焊盘结构，包括具有通孔的介质层和设置于所述通孔中的金属焊盘，所述焊盘结构设置于所述第二顶层金属层上，其特征在于，所述等离子体损伤测试结构还包括：金属连接层，所述金属连接层的第一端设置于所述第一顶层金属层的表面上，所述金属连接层与所述测试互连层之间形成电连接。