| 发明名称 | 一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池，通过在硒化锌材料中掺入一定量的B、Al、Ga、In元素来制作硒化锌溅射靶材，并用该硒化锌溅射靶来制作无镉的薄膜太阳能电池，本发明的硒化锌溅射靶材可使用DC溅射沉积或AC溅射沉积，可避免使用复杂的RF溅射设备沉积硒化锌膜层，可降低薄膜电池的制造成本。 | ||
| 申请公布号 | CN105355681A | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201510711517.6 | 申请日期 | 2015.10.28 |
| 申请人 | 厦门神科太阳能有限公司 | 发明人 | 李艺明;邓国云 |
| 分类号 | H01L31/032(2006.01)I;H01L31/0749(2012.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/032(2006.01)I |
| 代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人 | 张松亭;游学明 |
| 主权项 | 一种溅射靶材，其特征在于：所述溅射靶材包含硒化锌材料，和至少包含一种掺杂剂材料；所述掺杂剂材料选自B、Al、Ga或In元素中的至少一种，所述溅射靶材中掺杂剂材料的含量为100ppm至4000ppm。 | ||
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S102A室 | ||