一种高效晶硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高效晶硅太阳能电池的制备方法，包括以下步骤，步骤一：对硅片进行双面抛光；步骤二：在硅片正面进行高方阻磷扩散；步骤三：去除磷扩散形成的正面磷硅玻璃和周边PN结；步骤四：在硅片正面生长氧化层；步骤五：在硅片正面的氧化层上进行RIE制绒；步骤六：去除RIE制绒后的损伤层；步骤七：在所述硅片正面进行PECVD镀膜，形成氮化硅减反膜；步骤八：在硅片背面印刷背电极和铝背场；步骤九：在硅片正面印刷正电极浆料形成正电极；步骤十：对硅片进行烧结形成太阳能电池。与现有技术相比，本发明克服了直接在硅表面制绒引起的硅表面复合速率增加和扩散不均匀的问题，具有有效地提高电池的光电转换效率的优点。

主权项

一种高效晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：对硅片进行双面抛光；步骤二：在硅片正面进行高方阻磷扩散；步骤三：去除磷扩散形成的正面磷硅玻璃和周边PN结；步骤四：在硅片正面生长氧化层；步骤五：在硅片正面的氧化层上进行RIE制绒；步骤六：去除RIE制绒后的损伤层；步骤七：在所述硅片正面进行PECVD镀膜，形成氮化硅减反膜；步骤八：在硅片背面印刷背电极和铝背场；步骤九：在硅片正面印刷正电极浆料形成正电极；步骤十：对硅片进行烧结形成太阳能电池。