一种新型环状靶材机构

摘要

本实用新型公开了一种新型环状靶材机构，包括靶材，及安装于靶材外侧的氮化硼保护装置，及套接在靶材中心位置处的转轴；及设置于转轴底部的冷却水供应装置，及靠近所述冷却水供应装置，且套接在转轴外侧的传动带轮；所述转轴与冷却水供应装置的连接处设置有冷却水管；所述靶材呈环状结构。本实用新型的新型环状靶材机构，氮化硼保护装置是绝缘体固件，控制靶材位置不会发生位移；同时控制靶头击打靶材产生的电弧的活动空间，防止电弧窜至外围导致熄火和损害其他部件，引起机器故障；靶材的设计兼容了圆柱靶材和圆盘型靶材的优点，使用时间长，靶材利用率高，直接更换式结构既便捷又节省了维护成本，提高机器使用寿命。

主权项

一种新型环状靶材机构，其特征在于：包括靶材，及安装于靶材外侧的氮化硼保护装置，及套接在靶材中心位置处的转轴；及设置于转轴底部的冷却水供应装置，及靠近所述冷却水供应装置，且套接在转轴外侧的传动带轮；所述转轴与冷却水供应装置的连接处设置有冷却水管；所述靶材呈环状结构。