发明名称 化学水浴法镀膜设备
摘要 一种化学水浴法镀膜设备,包括化学水浴法镀膜设备,包括第一盖板、第二盖板与溶液出入装置。第一盖板与第二盖板对应设置,构成镀膜空间。溶液出入装置位于第一盖板中,供溶液进出镀膜空间。溶液出入装置的位置为固定或可以在镀膜空间内移动。
申请公布号 CN103160815B 申请公布日期 2016.02.24
申请号 CN201210029451.9 申请日期 2012.02.08
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 徐为哲;谢东坡;蔡松雨
分类号 C23C18/00(2006.01)I;C23C22/00(2006.01)I 主分类号 C23C18/00(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 祁建国;梁挥
主权项 一种化学水浴法镀膜设备,包括:第一盖板与一第二盖板,其中所述第一盖板与所述第二盖板对应设置,构成一镀膜空间;溶液出入装置位于所述第一盖板中,所述溶液出入装置在所述镀膜空间内移动;其中,所述第一盖板内更包括磁性物质,该溶液出入装置可任意角度喷出所述镀膜空间的溶液。
地址 中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号