发明名称 |
化学水浴法镀膜设备 |
摘要 |
一种化学水浴法镀膜设备,包括化学水浴法镀膜设备,包括第一盖板、第二盖板与溶液出入装置。第一盖板与第二盖板对应设置,构成镀膜空间。溶液出入装置位于第一盖板中,供溶液进出镀膜空间。溶液出入装置的位置为固定或可以在镀膜空间内移动。 |
申请公布号 |
CN103160815B |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201210029451.9 |
申请日期 |
2012.02.08 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
徐为哲;谢东坡;蔡松雨 |
分类号 |
C23C18/00(2006.01)I;C23C22/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
祁建国;梁挥 |
主权项 |
一种化学水浴法镀膜设备,包括:第一盖板与一第二盖板,其中所述第一盖板与所述第二盖板对应设置,构成一镀膜空间;溶液出入装置位于所述第一盖板中,所述溶液出入装置在所述镀膜空间内移动;其中,所述第一盖板内更包括磁性物质,该溶液出入装置可任意角度喷出所述镀膜空间的溶液。 |
地址 |
中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号 |