| 发明名称 | 溅镀靶材 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种溅镀靶材，其能通过直流电源进行放电，且适用于形成静电容量方式的触控式面板用传感器薄膜的黑化层。本发明有关一种溅镀靶材，其具有铜系金属相与氧化物相的混合组织，氧含量为5原子％至30原子％，相对密度为85％以上，且体积电阻值为1.0×10<sup>-2</sup>Ωcm以下。优选其铜系金属相的平均粒径为0.5μm至10.0μm，且氧化物相的平均粒径为0.05μm至7.0μm。 | ||
| 申请公布号 | CN105358734A | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201580001209.2 | 申请日期 | 2015.04.02 |
| 申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 池田真 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 一种溅镀靶材，具有铜系金属相与氧化物相的混合组织，氧含量为5原子％至30原子％，且相对密度为85％以上，体积电阻值为1.0×10<sup>‑2</sup>Ωcm以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||