一种用紫外激光加工较厚材料的工艺方法

摘要

本发明公开了一种用紫外激光加工较厚材料的工艺方法，所述方法包括如下步骤:步骤S1、根据切割要保留的部分确定切割图形的内/外圈大小；如果要保留内部，则内部尺寸为要求尺寸，向外扩展；如果要保留外部，则外部尺寸为要求尺寸，向内扩展；步骤S2、设置切割螺旋，螺旋间距在0.1～1个光斑尺寸大小，螺旋宽度根据材料厚度设定；步骤S3、调整激光参数进行切割。本发明提出的工艺方法拓宽了加工沟槽，这样材料的沟槽回填效果就会减小，激光就能进一步深层切割直到切穿材料；同时，本发明提出的激光路径为螺旋一刀走的方式，比诸如同心圆、同心方框方式的切割速度有显著提高。此外，本发明在不改变焦点位置的情况下，提高较厚材料切割效率。

主权项

一种用紫外激光加工较厚材料的工艺方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤:步骤S1、根据切割要保留的部分确定切割图形的内/外圈大小；如果要保留内部，则内部尺寸为要求尺寸，向外扩展；如果要保留外部，则外部尺寸为要求尺寸，向内扩展；步骤S2、设置切割螺旋，螺旋间距在0.1～1个光斑尺寸大小，螺旋宽度根据材料厚度设定；步骤S3、调整激光参数进行切割；所述步骤S2中，螺旋宽度的设定方法为：在焦点位置不变加工时，材料的厚度d小于激光的焦深长度；将焦点位置设置在材料d/2的位置，螺旋宽度大于等于d/2*tanθ，θ为激光发散角。