用于借助微波生成等离子体的装置

摘要

用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置（1）具有反应气体可被输送到的真空箱（2）和布置在其中的电导体（3），所述电导体在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）以及与电压源（7）相连接，用该电压源（7）可在电导体（3）和周围的真空箱（2）之间生成电位差，其中，电导体（3）相对于用于耦合输入微波的装置（6）是电绝缘的。电导体（3）具有棒状的造型或弯曲的走向。电导体（3）经由穿通滤波器与电压源（7）相连接。用于耦合输入微波的装置（6）朝向电导体（3）漏斗状地展开，并且部分地或完全地用介电材料（11）充填。用于耦合输入微波的装置（6）具有沿着周边伸展的槽形的凹口。

主权项

用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置，具有：能被输入反应气体的真空箱（2）；和布置在该真空箱中的、与用于耦合输入微波的装置（6）相连接的电导体（3），其特征在于，电导体（3）在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）相连接，电导体（3）与用于在电导体（3）和周围的真空箱（2）之间生成电位差的电压源（7）相连接，并且电导体（3）相对于用于耦合输入微波的装置（6）电绝缘或脱耦。