一种空间用紫外反射膜的制备方法

摘要

本发明涉及光学薄膜制备技术领域，主要公开了一种空间用紫外反射膜的制备方法。该空间用紫外反射膜的制备方法包括以下步骤：a)预处理玻璃盖片：清洗所述玻璃盖片；b)制备反射膜：通过电子枪热蒸发的方式在所述玻璃盖片的表面沉积所述反射膜，并利用离子源辅助所述反射膜在所述玻璃盖片的表面进行沉积；其中，所述反射膜由高折射率材料HfO₂和低折射率材料MgF₂复合而成。本发明的有益效果是：加入离子源进行辅助淀积是为了提高HfO₂层的成膜质量，提高HfO₂淀积粒子的迁移率，增加HfO₂膜层聚集密度，填充膜内空隙缺陷。加之，所述反射膜由高折射率材料HfO₂和低折射率材料MgF₂复合而成，因此这样便可以顺利获得高反射率且光学性良好的反射膜。

主权项

一种空间用紫外反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a)预处理玻璃盖片(1)：清洗所述玻璃盖片(1)；b)制备反射膜(2)：通过电子枪热蒸发的方式在所述玻璃盖片(1)的表面沉积所述反射膜(2)，并利用离子源辅助所述反射膜(2)在所述玻璃盖片(1)的表面进行沉积；其中，所述反射膜(2)由高折射率材料HfO₂和低折射率材料MgF₂复合而成。