一种纳米级钽粉的生产方法

摘要

本发明公开了一种纳米级钽粉的生产方法，具体步骤为：（1）将纯度≥99.9%的钽原料加入到高温蒸发器中；（2）向反应系统内充入氮气，使反应系统内的气氛为惰性并且反应系统内部气体压力为75～150kPa；（3）向高温蒸发器中充入高频等离子气，使钽原料加热到沸腾状态形成钽蒸气；（4）在高温蒸发器内形成钽蒸气的同时，向高温蒸发器内加入钽原料；（5）在粒子控制器中钽蒸气经不断地碰撞、融合、固化形成钽颗粒，所述钽颗粒的粒径为10～3000nm；（6）钽颗粒在收集器内的气固分离器外壁进行附着，然后进行收集，得到纳米级钽粉。该纳米级钽粉颗粒形状为球形、粒径大小可控制在10～3000nm之间。

主权项

一种纳米级钽粉的生产方法，在依次连通的高温蒸发器、粒子控制器及收集器组成的反应系统中进行，其特征在于，具体步骤为：（1）将纯度≥99.9%的钽原料加入到高温蒸发器中，检查反应系统的气密性合格后，对反应系统进行抽真空；（2）向反应系统内充入氮，充气的气流量为5～10m³/h，使反应系统内的气氛为惰性并且反应系统内部气体压力为75～150kPa；（3）向高温蒸发器中充入高频等离子气，对钽原料进行加热，使钽原料加热到沸腾状态形成钽蒸气；（4）在高温蒸发器内形成钽蒸气的同时，向高温蒸发器内加入钽原料，所述的钽原料的加入速度为0～10㎏/h；（5）调节氮气的充气气流量至15～120m³/h，使蒸发出的钽蒸气随氮气气流输送到粒子控制器，在粒子控制器中钽蒸气经不断地碰撞、融合、固化形成钽颗粒，所述钽颗粒的粒径为10～3000nm；（6）粒子控制器内的氮气气流将钽颗粒输送到收集器内，使钽颗粒在收集器内的气固分离器外壁进行附着，然后进行收集，得到纯度≥99%、粒径为10～3000nm、形状为球形的纳米级钽粉。