抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法

摘要

本发明涉及一种抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法。一种抛光刷，所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分上供应抛光液，一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触旋转进行抛光的抛光方法。该抛光刷(20)，相对于其轴心(21)大致正交的方向上突出设置毛状材料(22)，两个外径D1、D2不同的部分在轴向方向上交替地排列配置，同时，构成其小直径D2的部分的毛状材料的硬度比构成大直径D1的部分的毛状材料的硬度大。为此，用树脂加固构成抛光刷(20)中的小直径D2的部分的毛状材料。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，包括：获得具有主表面、侧壁面、以及位于前述主表面与前述侧壁面之间的中间面的玻璃基板的形状加工工序；将多个前述玻璃基板重叠，对重叠的前述玻璃基板的前述侧壁面和存在于重叠的前述玻璃基板的前述主表面与前述侧壁面之间的前述中间面这两方的面进行抛光的端面抛光工序，其特征在于，所述制造方法利用具有以前述侧壁面为主进行抛光的侧壁面用抛光部和以前述中间面为主进行抛光的中间面用抛光部的抛光构件，向前述侧壁面及前述中间面供应含有磨料的抛光液，进行对前述侧壁面及前述中间面一起抛光的前述端面抛光工序，其中，前述侧壁面用抛光部的硬度、刚性或弹性率比前述中间面用抛光部的硬度、刚性或弹性率大,前述中间面用抛光部是抛光刷，并且，前述侧壁面用抛光部是采用硬度与前述中间面用抛光部不同的毛状材料的抛光刷、抛光垫、利用树脂将抛光刷的毛加固而成的抛光刷之中的任一种，由此，前述侧壁面用抛光部的硬度、刚性或弹性率比前述中间面用抛光部的硬度、刚性或弹性率大。