飞秒激光微加工的同步监测装置

摘要

飞秒激光微加工的同步监测装置，包括一台飞秒激光器，沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次设有两个平行全反射镜、衰减片、偏振片、分束棱镜、两个光阑，快门、聚焦透镜和加工对象。加工对象固定在旋转平移装置上并使光阑中心与加工对象的竖直中心线在同一平面上。在旋转平移装置上还固定有L型支架，L型支架上设置有监测用的CCD。旋转平移装置、CCD和L型支架均通过信号线与计算机相连。分束棱镜将飞秒激光分成两束能量完全相同的两束光，一束沿飞秒激光光路，用于加工，另一束沿另一条光路进入功率计，对飞秒激光的能量进行测量。实现了对加工对象表面出现的变化进行实时同步监测，减少因多次测量引起的误差。两个光阑等高共线，光束保持固定。

主权项

飞秒激光微加工的同步监测装置，包括一台飞秒激光器(1)，其特征在于，构成还包括：沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次设有两个平行全反射镜(2、2‘)、衰减片(3)、偏振片(4)、分束棱镜(5)、两个光阑(6、6‘)、快门(7)、聚焦透镜(8)和加工对象(16)，所述加工对象(16)固定在旋转平移装置(9)上并使光阑(6、6‘)中心与加工对象(16)的竖直中心线在同一平面上，在所述旋转平移装置(9)上还固定有L型支架(10)，所述L型支架(10)上设置有监测用的CCD(11)，所述旋转平移装置(9)、所述CCD(11)和所述L型支架(10)均通过信号线与计算机(21)相连，所述L型支架(10)由小型平移台(15)、L型支杆(19)、固定托架(18)和旋转轴构成，所述L型支杆(19)是设有两个拐点的杆状件，其上端和下端分别与固定托架(18)和小型平移台(15)固定连接，在中部两个拐点处分别安装第一、第二旋转轴(20、20‘)，所述固定托架(18)用于设置监测用的CCD(11)；所述旋转平移装置(9)包括精密位移台(12)，旋转台(13)、上一维平移台(14)和下一维平移台(14‘)，所述精密位移台(12)设在所述旋转台(13)上，所述旋转台(13)设在所述上一维平移台(14)上，所述上一维平移台(14)与所述下一维平移台(14‘)呈十字交叉滑动连接，所述上一维平移台(14)能够进行左右移动、所述下一维平移台(14‘)能够进行前后移动，所述加工对象(16)固定在所述旋转平移装置(9)中的所述精密位移台(12)上；所述小型平移台(15)设置在所述旋转平移装置(9)中的所述上一维平移台(14)上并与所述计算机(21)相连，所述L型支架(10)利用其所述小型平移台(15)和所述第一、第二旋转轴(20、20‘)调节所述CCD(11)与激光焦点同步以及其与所述加工对象(16)的距离。