一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法

摘要

本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法，涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。

主权项

一种集成压电式万向冲击传感器，包括质量块（1）和压电敏感元件（2），其特征在于：所述压电敏感元件（2）上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对（21/22）、Y轴轴向压力敏感输出电极对（23/24）、X轴轴向压力敏感输出电极对（25/26）和质量块焊接电极（27）；所述质量块（1）通过质量块焊接电极（27）焊接在压电敏感元件（2）顶部；以压电敏感元件（2）轴向垂直方向定义为Z轴，与Z轴垂直的水平方向定义为X轴，与X轴及Z轴组成的平面垂直的方向定义为Y轴。