一种柔性CIGS薄膜太阳电池的背电极结构

摘要

一种柔性CIGS薄膜太阳电池的背电极结构，其制备方法为在柔性衬底上通过磁控溅射法沉积多层Mo薄膜作为背电极，随后在Mo背电极上依次制备CIGS吸收层、CdS缓冲层、本征ZnO层、AZO层、Ni-Al栅电极，形成结构为柔性衬底/多层Mo背电极/CIGS吸收层/CdS缓冲层/i-ZnO窗口层/AZO透明导电层/Ni-Al栅电极结构的柔性CIGS薄膜太阳电池器件。本发明直接在柔性衬底上制备多层结构Mo薄膜作为背电极层，不仅具有良好的导电性，而且可以有效避免基底材料中杂质元素对CIGS薄膜的扩散和渗透，替代阻挡层作用。本发明无需传统柔性电池制备方法中所需的阻挡层，工艺简单，易于控制，成膜均匀性好，适于工业化规模生产。

主权项

一种柔性CIGS薄膜太阳电池的背电极结构，其特征在于：直接在柔性衬底上通过磁控溅射法沉积多层Mo薄膜作为柔性CIGS薄膜太阳电池的背电极，随后在Mo背电极上依次制备CIGS吸收层、CdS缓冲层、本征ZnO层、AZO层、Ni‑Al栅电极。