石英ガラスルツボの破壊検査方法及び良否判定方法

摘要

【課題】実際の使用状況にできるだけ近い状態で検査することが可能な石英ガラスルツボの破壊検査方法及び良否判定方法を提供する。【解決手段】本発明による石英ガラスルツボの破壊検査方法は、グラファイトサセプタ２に支持されたシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ１の内表面にオートセンターポンチ１０の先端部を押し当てながらオートセンターポンチ１０を介して内表面の一点に瞬間的に荷重を加えたときの内表面のひび割れの状態を評価する。【選択図】図１