发明名称 膜形成用组合物及其制造方法、扩散剂组合物及其制造方法
摘要 本发明膜形成用组合物含硅氧烷聚合物A,其含有将含式(1)的4官能烷氧基硅烷的烷氧基硅烷作为起始原料的缩合产物A1、将式(2)烷氧基硅烷作为起始原料的缩合产物A2。硅氧烷聚合物A中,缩合产物A1含量相对缩合产物A1、A2总量以SiO<sub>2</sub>换算为75质量%以下,针对缩合产物A1、A2,将重均分子量设为M<sub>A1</sub>、M<sub>A2</sub>,将硅氧烷聚合物A中SiO<sub>2</sub>换算质量比设为R<sub>A1</sub>、R<sub>A2</sub>时,R<sub>A1</sub>>R<sub>A2</sub>、R<sub>A1</sub><R<sub>A2</sub>、R<sub>A1</sub>=R<sub>A2</sub>时分别具有数学式(1)、数学式(2)、数学式(3)确定的分子量值M的80%以上的重均分子量。式(1):Si(OR<sup>1</sup>)<sub>4</sub>,多个R<sup>1</sup>相同或不同,式(2):R<sup>2</sup><sub>n</sub>Si(OR<sup>3</sup>)<sub>4-n</sub>,R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>及R<sup>3</sup>为有机基,n=1或2,R<sup>2</sup>、(OR<sup>3</sup>)多个时,可相同或不同,数学式(1):M=(R<sub>A2</sub>/R<sub>A1</sub>)(M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>)+{(R<sub>A1</sub>-R<sub>A2</sub>)/R<sub>A1</sub>}M<sub>A1</sub>,数学式(2):M=(R<sub>A1</sub>/R<sub>A2</sub>)(M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>)+{(R<sub>A2</sub>-R<sub>A1</sub>)/R<sub>A2</sub>}M<sub>A2</sub>,数学式(3):M=M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>。
申请公布号 CN103374296B 申请公布日期 2016.02.24
申请号 CN201310124353.8 申请日期 2013.04.11
申请人 东京应化工业株式会社 发明人 神园乔;森田敏郎
分类号 C09D183/04(2006.01)I;C09D183/07(2006.01)I;C09D7/12(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C09D183/04(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 龚敏
主权项 一种膜形成用组合物,其特征在于,具备硅氧烷聚合物(A)和有机溶剂(B),所述硅氧烷聚合物(A)含有将包含以下述化学式(1)表示的4官能烷氧基硅烷的烷氧基硅烷作为起始原料的缩合产物(A1)、以及将以下述化学式(2)表示的烷氧基硅烷作为起始原料的缩合产物(A2);所述硅氧烷聚合物(A)中,所述缩合产物(A1)的含量相对于缩合产物(A1)与缩合产物(A2)的总量以SiO<sub>2</sub>换算为75质量%以下,在针对缩合产物(A1)将重均分子量设为M<sub>A1</sub>、将硅氧烷聚合物(A)中的SiO<sub>2</sub>换算质量比设为R<sub>A1</sub>,针对缩合产物(A2)将重均分子量设为M<sub>A2</sub>、将硅氧烷聚合物(A)中的SiO<sub>2</sub>换算质量比设为R<sub>A2</sub>时,在R<sub>A1</sub>>R<sub>A2</sub>的情况下,具有以下述数学式(1)确定的分子量值M的80%以上的重均分子量,在R<sub>A1</sub><R<sub>A2</sub>的情况下,具有以下述数学式(2)确定的分子量值M的80%以上的重均分子量,在R<sub>A1</sub>=R<sub>A2</sub>的情况下,具有以下述数学式(3)确定的分子量值M的80%以上的重均分子量,化学式(1):Si(OR<sup>1</sup>)<sub>4</sub>化学式(1)中,R<sup>1</sup>为有机基,多个R<sup>1</sup>既可以相同也可以不同;化学式(2):R<sup>2</sup><sub>n</sub>Si(OR<sup>3</sup>)<sub>4‑n</sub>化学式(2)中,R<sup>2</sup>及R<sup>3</sup>为有机基,n表示1或2的整数;在R<sup>2</sup>为多个的情况下,多个R<sup>2</sup>既可以相同也可以不同,在(OR<sup>3</sup>)为多个的情况下,多个(OR<sup>3</sup>)既可以相同也可以不同,数学式(1):M=(R<sub>A2</sub>/R<sub>A1</sub>)·(M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>)+{(R<sub>A1</sub>‑R<sub>A2</sub>)/R<sub>A1</sub>}M<sub>A1</sub>数学式(2):M=(R<sub>A1</sub>/R<sub>A2</sub>)·(M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>)+{(R<sub>A2</sub>‑R<sub>A1</sub>)/R<sub>A2</sub>}M<sub>A2</sub>数学式(3):M=M<sub>A1</sub>+M<sub>A2</sub>。
地址 日本神奈川县